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科技成果转化公示(2017)7号——变阻尼减振装置设计
作者: 时间:2017-09-05 点击数:

华中科技大学科技成果转化公示

〔2017〕7号

根据《华中科技大学科技成果转化管理办法》(校科技〔2016〕11号)规定,对“变阻尼减振装置设计”成果转化相关事项公示如下:

一、成果名称及简介

该成果包含如下2项发明专利:

发明专利1:一种非接触式主动阻尼装置

发明人:陈学东;王仕博;徐振高;钱俊兵;袁方;罗欣

专利号:ZL201110083202.3

专利权人:华中科技大学

简介:本发明公开了一种非接触式主动阻尼装置,包括阻尼器和驱动器两部分,阻尼器和驱动器电气连接,阻尼器包括固定不动的定子和与定子相分离的阻尼发生器,阻尼发生器相对于定子能够在一个方向上运动。阻尼装置由分离式动子和定子组成,通过主动控制方式调节驱动电路的驱动电流,从而实现阻尼力的主动控制。该阻尼装置能够实现对超精密减振器提供自适应变阻尼控制,有效地衰减减振台的高频振动。本发明可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。本发明提供的阻尼装置可用作小型超精密设备、精密仪器的基础支撑。

发明专利2:一种自适应变阻尼超精密减振器

发明人:陈学东;蒲华燕;罗欣;曾理湛;姜伟;李一浩

专利号:ZL201010164569.3

专利权人:华中科技大学

简介:本发明公开了一种自适应变阻尼超精密减振器,其结构为:金属壳体外部呈上端开口的圆柱形,金属壳体内部中空,且由隔板隔离为上下两个中空部分,其剖面呈H型;下部的中空部分形成下腔室,上部的中空部分与活塞机构通过膜结构密封连接形成上腔室;在下腔室底部开有进气口,下腔室与上腔室之间安装有带节流阀的连通管路;负载连接板与活塞机构上端面固定连接;负载连接板上装有绝对速度传感器,在金属壳体上端部装有非接触式的电涡流接近传感器,在金属壳体与负载连接板之间安装有主动作动器,负载连接板用于与负载固定连接。本发明能够实现对垂向振动的良好衰减,能够进行在线自适应,而无须离线调试。本发明可以为光刻机及其它的精密设备提供超静的环境。

二、拟交易价格

协议转让:人民币15万元

三、价格形成过程

学校委托湖北衡平资产评估有限公司对该项目进行资产评估,评估价值为人民币14.19万元。经全体发明人同意,并与拟转让企业协商,双方同意以15万元转让。

特此公示,公示期15日,自2017年9月5日起至2017年9月20日。如有异议,请于公示期内以书面形式实名向我办反映。

联系人:朱红

联系电话:027-87540925

科技成果转化办公室

2017年9月5日